プロセス技術開発は、
Process /
Package technology development
Hiroaki Naito
内藤 大明
プロセス・パッケージ技術開発
2012年入社／電子物理工学専攻
最適な組み合わせを探る、
それがインテグレーション
私が所属する四日市工場の先端メモリ開発センターは、文字通り最先端のメモリデバイスの技術発信基地として、数々の最先端技術が開発されています。そこで私は、次世代以降のフラッシュメモリ開発のプロセスインテグレーション業務を担当しています。
メモリは、リソグラフィ、ドライエッチングや成膜、ウェット洗浄などのプロセス技術を組み合わせて作製しますが、インテグレーション業務は、それらの最適な組み合わせを決める仕事です。各プロセス技術部門のスペシャリストに加え、電気特性のエキスパートや、設計チーム、検査グループなどと協議を重ねて最適なプロセスの組み合わせを決めていきます。つまり、技術分野を「広く深く」横断的に理解する必要があり、さまざまな分野の方とのコミュニケーションが要求される仕事です。まずは「広く浅く」ですが、これからの経験が非常に大切になってくると感じています。
ブレークスルーとなる
キープロセスの開発を目指す
「プロセスを考える仕事は、パズルのようなものだ」と言われたことがあります。パズルを解くのではなく、パズルそのものをつくるイメージです。そのような、 真っ白なところに一からプロセスを考える魅力にはまっています。学生時代に趣味で始めた料理は、カレーはスパイスの調合から、ラーメンは豚骨で出汁を取るところからつくっていました。プロセスの考案は、最適な味を目指して試行錯誤を繰り返すことに近いものを感じます。料理に凝った私ですから、今の仕事にはまってしまうのも当然なのです。
15nmプロセスに開発初期から携わっていた当時、同じチームの先輩がブレークスルーとなる技術を開発したのを目の当たりにし、私の心に衝撃が走りました。メモリの各世代のプロセスを見ると、必ずブレークスルーとなるような革新的な技術が導入されています。私もそのようなキープロセスを開発することが目標です。四日市工場という、開発と量産が一体となったすばらしい環境では、新たなパズルに挑む気持ちが途切れることは決してありません。
自社の専門用語を理解する
「自分だけの虎の巻」
大学の研究室では、シリコンデバイスを設計して、実際にプロセスを行い、電気特性を測定するなどの研究を行っていたので、同じ頃に入社した人に比べれば、半導体への戸惑いは少なかったと思います。しかし、実際の仕事では当社だけで使われる専門用語が多く、初めは周囲が何を話しているのか全く理解できませんでした。たとえば、学会では「SPM」と呼ばれている硫酸と過酸化水素を混ぜた洗浄液を「SH」と呼んだり、工程の呼び方を独特の頭文字二文字で表したりするので慣れるのに苦労しました。その解決に力を発揮してくれたのが「自分専用の虎の巻」です。上長からのアドバイスで始めた自分だけの専門単語帳が功を奏し、少しずつ理解度が深まっていきました。このちょっとした工夫が、限られた時間の中で迅速な判断を迫られるプロセス開発に役立つようになりました。
学生のみなさんへ
最先端のメモリ開発は、世界をリードするテクノロジーとサイエンスの面白さが融合した希有な分野。大学時代の研究テーマにとらわれず、広く知見を生かすことができます。メモリデバイス開発に興味が湧いたら、最先端を実感できる四日市工場に足を運んでみてください。
掲載日／2016年2月29日 ※所属・役職・仕事内容は掲載当時のものです
